MarSurf WI 系列：低纳米级精密测量

无论是在医疗技术、光学还是半导体行业，许多领域都依赖极其光滑的表面来确保镜头、晶圆或植入物具有最佳的性能。为此，它们经过精心制造，并在制造商的实验室和质量保证部门接受了细致的测试。由于这些表面的粗糙度取决于亚纳米级，因此白光干涉法是首选测量方法。

Mahr 新推出的三款白光干涉仪配备了独特的 ICA 技术（“智能相关算法”）。ICA 可实现很好的高度值统计测定、最佳数据质量和仅为 80 皮米的最小噪声系数。它在短短几秒钟内就能提供测量数据。对用户而言，这意味着垂直分辨率非常高的高精度表面特征轮廓数据和表面结构。

Mahr 的新款白光干涉仪系列包括三个装置：

• 手动 MarSurf WI 50 M - 面向高要求测量任务的全面入门级解决方案
• MarSurf WI 50 - 用于研究和质量管理的高精度测量工具
• 可自动化 MarSurf WI 100 - 具有适用于特大工件的扩展 Z 轴的专业装置

除了准确性之外，这三个装置被赞赏的一点是，定位容量很大，适合大型工件，并且采用了已在其他光学系统上被 Mahr 客户熟悉和欣赏的直观用户软件。这使得实验室和质量保证部门能够在短短几秒钟内确定纳米范围内的最佳粗糙度、平均梯度或水平。