Metrology
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MarForm MFU 200 Aspheric 3D 精密 3D 测量站
ZH
Mahr 开发了 MarForm MFU 200 Aspheric 3D,藉此可以在生产区域附近以 2D / 3D 方式快速测试光学组件。MarForm 测量仪的精确度和稳定性几十年来一直受到普遍认可。
现在借助 MarForm MFU 200 Aspheric 3D 将这些经验应用到了光学产业。

精度
MarForm MFU 200 Aspheric 3D 是精密测量仪器,有极低的测量不确定性,是优化加工流程的理想选择。

测量原理
MarForm MFU 200 Aspheric 3D 测量光学组件的表面形态。当然,利用透镜顶点的轮廓也可以快速记录 2D 测量结果。对于 3D 测量,先在一个序列中测量透镜顶点偏移 90° 的两个直线轮廓。然后旋转 C 轴记录多个同心极性轮廓。然后使用这些测量点生成表面形态。利用完全可定位的测杆可以测量间断的表面。
在减震柜中使用测量站可以避免测量对象受到外部干扰,如震动和灰尘。

测量流程
在开始测量之前,先选择标准形状类型,然后为预期参考镜头设置参数。下一步骤将记录测量数据并与镜头的标准数据对比。
RMS 值、PV 值和倾斜误差均显示为参数。
在软件中,将标准非球面调整到拟合非球面时,球面的各个参数,如曲率 R0 的半径、锥形常数 k 和非球面系数 Ai 可调整到测量结果。
测量值和标准透镜之间不同的表面形态显示为彩色线图。然后 2D 轮廓和差异表面形态导出为已知格式以为车床进行校正。
除如上所述测量球面和非球面之外,也可使用标准形状作为锥形轮廓或测量和评估其他旋转对称对象或对 3D 散点图进行 Sagitta 描述。
  • 技术数据

圆度偏差(µm+µm/mm 测量高度)*
0,01 + 0,0002
圆度偏差(µm+µm/mm 测量高度)**
0,02 + 0,0004
轴向跳动偏差(µm+µm/mm 测量半径)*
0,02 + 0,0002
轴向跳动偏差(µm+µm/mm 测量半径)**
0,04 + 0,0004
调心调平工作台
自动
工作台直径 (mm)
180
工作台负载,居中 (N)
200
速度 (rpm) 50 Hz / 60 Hz
0.1 至 200
直线度偏差/100 mm 测量路径 (µm)**,Z 轴
0.1
直线度偏差/总测量路径 (µm)**,Z 轴
0.3
跟踪方向的平行度偏差 Z-/C-轴 (µm)
0.6
测量速度 (mm/s),Z 轴
0.1 至 50
定位速度 (mm/s),Z 轴
0.1 至 50
直线度偏差/总测量路径 (µm)**,X 轴
0.3
垂直度 Y-/C-轴 (µm)
0.3
定位速度 (mm/s),X 轴
0.1 至 50
测量速度 (mm/s),X 轴
0.1 至 50