Metrology
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MarSurf CWM 100
ZH
高精度计算机控制光学测量仪器 MarSurf CWM 100,具有亚纳米级分辨率。综合性 3D 测量系统,包含共焦显微镜白光干涉仪
优势
  • 特殊显微镜技术,专用于重现高达物理极限的细微表面特征
  • 在实时视频技术中进行表面扫描,提供快速而可靠的结果
  • 最高质量物体的大型遴选
  • 元素和结构的拓扑、高度、形状和位置的测量
  • 稳定,免维护,使用寿命长
  • 技术数据
  • 应用
  • 附件
  • 货运

测量原则
使用干涉仪,白光干涉仪和共焦
光源(KFM 和 WLI):高功率 LED,505 nm
测量范围 mm
传感器装置在 Z 方向可移动 100 mm,CNC 控制
载物台在 X 和 Y 方向可移动 100 mm,CNC 控制

干涉仪,白光干涉仪:
测量范围 (WLI):最高 4 mm(取决于镜头)

共集显微镜:
测量范围 (KFM):最高 800 µm(取决于 Z 方向分辨率和镜头)
接口
230 V, 50 Hz

机器建造
所有类型金属表面(打磨,轧制等)、以及激光结构表面、陶瓷和塑料表面、铸模表面

医疗
植入体、假肢和仪器的金属、陶瓷和塑料表面

电子

涂层表面分析,电子和半导体组件的测量和分析

光学

各种光学组件(所有材料)的形状和粗糙度分析

CT 120 双轴倾斜工作台

设置工作台角 /- 30°

标准设置

共焦显微镜:

KFM 物镜 10x0.5;  20x0.75;  50x0.6,载物台和工件之间有 11 mm 间隙;  50x0.8;  100x0.9

白光干涉仪:

WLI 物镜 2.5x0.075;  5x0.13;  10x0.3;  20x0.4;  50x0.55;  100x0.7

  • 传感器系统,包含:
    • 共焦显微镜 KFM,带 6x 物镜转换器
    • 相机,768 x 582 像素,最高 48 图像/秒
    • 100 mm CNC 控制 Z 轴,集成 Heidenhain 玻璃分划尺
    • WLI 软件模块,"Inspector" 软件
  • 花岗石底座和立柱带传感器系统,CNC 控制载物台
  • 机动多轴控制 Z 轴和 XY 工作台以定位测头和像场合并
  • 50x0.8 EPI 镜头(共焦显微镜)
  • 20x0.4 DI 镜头(白光干涉仪)