Metrology
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MarSurf WM 100 3D Surface Measurement
ZH
高精度光学测量仪 MarSurf WM 100 有亚纳米级分辨率和测量精度。3D 白光干涉仪测量系统。
  • 亚纳米分辨率和测量精确度下有最高精度
  • 适合所有光学和反射表面、精细技术表面和电路板、半导体产品和生物组织表面
  • 2D 表面分析和测量评估
  • 地形学 3D 表面分析和测量评估
  • 快速测量 #96 短测量时间
  • 在最多 4 个轴上手动定位工作台和物体
  • 多种镜头选择,可根据测量对象进行完美调整
  • 采用花岗石底座的稳固型设计
  • 基于 MountainsMap© 的专业评估软件
  • 技术数据
  • 应用
  • 附件
  • 货运

测量原则
使用干涉仪,白光干涉仪
光源 (WLI):高功率 LED,505 nm
测量范围 mm
传感器装置在 Z 方向可手动移动 200 mm
载物台在 X 和 Y 方向可手动移动

干涉仪,白光干涉仪:
测量范围(WLI):最高 100 µm(垂直)
接口
230 V, 50 Hz

机器建造
所有类型纯金属表面(打磨,轧制等),以及激光结构表面、细陶瓷和塑料表面、铸模表面

医疗
植入体、假肢和仪器的金属、陶瓷和塑料表面

电子

涂层表面分析,电子和半导体组件的测量和分析

光学

各种光学组件(所有材料)的粗糙度分析

CT 120 双轴倾斜工作台
设置工作台角 +/- 30°

标准套件


白光干涉仪:

WLI 物镜 2.5x0.075;  5x0.13;  10x0.3;  20x0.4;  50x0.55;  100x0.7

可选:
  • 配备减震器来为纳米和亚纳米范围测量优化减震

  • 传感器系统,包含:
    • WLI 传感头
    • 相机,768 x 582 像素,最高 48 图像/秒
    • 100 µm Z 轴,带压电驱动
    • WLI 软件模块,"Inspector" 软件
  • 花岗石底座和立柱,配有手动定位传感器系统
  • 手动 XY 载物台用于测头定位
  • 20x0.4 DI 镜头(白光干涉仪)