Metrology
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MarOpto FI 1040 Z 斐索干涉仪
ZH
全提供平面或球面测量的全功能40 mm斐索干涉仪。
MarOpto FI 1040 Z是全功能的干涉仪,能够提供平面或球面的非接触式测量以及光学组件和部件的发射波阵面。MarOpto FI 1040 Z是用于测量光学组件的理想设备,例如测量平面、棱镜、透镜以及如轴承、密封面这样的精密金属零件、抛光陶瓷制品等。使用简易的基础目视波纹检查、IntelliPhase静态空间载波分析,或者调相干涉图分析就能够进行测量。 MarOpto FI 1040 Z为当今的工业应用提供了灵活性及前所未有的性能。
  • 利用6倍放大功能可以小到直接为1.5 mm的样品
  • 3种模式的干涉图分析:相移、IntelliPhase – 静态空间载波分析,或波纹跟踪(自动或手动)
  • 小尺寸和形状参数设计使得易于与OEM系统整合
  • 紧凑而坚固的设计
  • 从F/0.7到F/6.0的透射球面
  • 应用

  • 小型光学器件的透射和表面测试
  • 光学器件、经过加工的零件、陶瓷制品、半导体和晶片的测量
  • 一体化的 ROC测量