用于非球面和自由曲面的参考形状测量仪

非球面和自由曲面的测试
使用来自 Mahr 的 MarForm MFU 200 Aspheric 3D，非球面和自由曲面光学制造商可以快速完成生产导向的三维测试

一次夹持完成数项测量任务
这款测量不确定度很小的高准确度测量仪器一次夹持便可完成数项测量任务：它测量透镜的形状轮廓，并同时测试它们的轴向偏移、跳动误差和倾斜误差

与操作员无关的定位
试样的定位、倾斜、调心和对准与操作员无关。主动跟踪甚至可以测量几何结构未知的自由曲面形状和非球面。使用光纤测针对抛光透镜进行非接触式无损检测。触觉测杆适用于粗糙表面。

光学和触觉测量
通过干涉点传感器进行光学测量。对于触觉测量，有各种各样的传感臂。光学以及触觉传感器通过电动旋转接头定位在所需的任何角度位置，因此非常灵活。测针系统 T7W 提供以光学/触觉组合方式固定数个测针的可能性。

准确且可重现的非球面测量
高准确度旋转轴圆度偏差仅为约 20 nm 的精确对准可实现对非球面准确且可重现的测量。为了精确测量 3D 表面特征轮廓，会在测量之前测量并重定向光学元件的顶点。因此，即使是夹持产生的最小误差也会得到补偿。动态实时补偿实现了机器的高准确度，并可防止外界影响的干扰。

测量台可以防震
MarForm MFU 200 Aspheric 3D 是基准形状测试仪 MarForm MFU 100 的进一步发展，后者是在世界范围得到成功应用的一种高度准确的形状测量仪。在光学行业的生产导向测量方面实现了重大创新：

• 测量台可实现防震和调平控制
• 所有机器误差的实时补偿通过所有三个主要测量轴上的基准刻线进行，也因此校正了测量序列中的最小偏差
• 由于温度稳定性高，无需每日校准

合适的软件
使用成熟的软件平台 MarWin 和测量与评估软件包“Aspheric”，可以对非球面、衍射光学元件 (DOE) 以及自由曲面模型的测量结果进行评估。

有关测量系统 MarForm MFU 200 Aspheric 3D 的更多信息可在此处...找到